Home 其他 產業 消息稱:ASML 擬對中國市場推「特供版」DUV 光刻機,規避新禁令
產業

消息稱:ASML 擬對中國市場推「特供版」DUV 光刻機,規避新禁令

消息稱:ASML 擬對中國市場推「特供版」DUV 光刻機,規避新禁令 光刻機 評論, AI, 產業

根據 DigiTimes 的報導,荷蘭半導體設備製造商 ASML 似乎正在策劃一種巧妙的策略,目的是要規避新的銷售許可禁令。這家公司擬向中國市場推出特供版 DUV 光刻機(或稱曝光機,下面文章將以光刻機稱呼),這意味著中芯國際、華虹等中國半導體企業可能可以繼續使用荷蘭的設備生產 28 奈米以及更成熟工藝的晶片。

基於舊型號改造的特供版光刻機

特供版 DUV 光刻機的改造基礎是 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統,這是 10 年前推出的一款老舊型號。值得注意的是,這款舊型號不在新的官方禁令範圍內,因此 ASML 可以避開新的限制,將其用於特供版光刻機的改造。

消息稱:ASML 擬對中國市場推「特供版」DUV 光刻機,規避新禁令 光刻機 評論, AI, 產業

雖然 1980Di 是 ASML 現在效率較低的一款光刻機,但它支援 NA 1.35 光學器件,分辨率可以達到小於 38 nm,理論上可以支援 7nm 工藝。然而,大多數的晶圓廠使用 1980Di 光刻機主要用來生產 14nm 及以上工藝的晶片,對於 7nm 晶片的生產使用並不多。

但是對中國的半導體市場來說,這無異於在汪洋中的小船,估計這特供版光刻機對中國市場具備著巨大吸引力。當然,後續荷蘭與美國政府會不會又針對這台機器推出新的禁令,就不得而知了。

更新:ASML 在報導出來後,火速否認「向中國提供特供版光刻機」這件事。

Written by
黃郁棋

在科技業打滾十年的老屁股,每天都覺得自己要被新技術取代了,完了完了。

公開留言

發佈留言

發佈留言必須填寫的電子郵件地址不會公開。 必填欄位標示為 *